特點和優(yōu)勢100級潔凈室標準經(jīng)過第三方認證不銹鋼外殼上的鈍化表面處理方便清理高靈活性電纜包裹在潔凈室認證的外殼內(nèi),，把微粒和排氣降低軟件控制的特性可以提高良率,，減少人為干擾靈活的加熱區(qū)數(shù)量以及可選的過程控制加熱（CpH）使工藝時間減小可以選配薄膜框架和裸晶圓運輸裝置，用于集成材料裝卸功能,。
