設(shè)備類型:在線全自動(dòng)3D SPI特 性:3D高精度輪廓測量技術(shù)應(yīng)用適用基板:50mm x 70mm - 510mm x 460mm基板厚度:0.6mm - 6.0mm 分辨率:10μm - 15μm (可調(diào))高度測量精度:1μm外形尺寸:W1080 x D1300 x H1850(mm)重量:740KGMirage-D:全自動(dòng)在線雙軌3D SPI外形尺寸:W1160 x D1470 x H1875(mm)