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壓力固化烤箱（PCO） 或高壓容器用于使空隙最小化并增加通常用于貼裝附著和底部填充應(yīng)用中的粘合工藝的粘合強(qiáng)度
· PCO將空氣加壓到剛性容器中,，并通過強(qiáng)制對(duì)流加熱和冷卻.
· 加熱器,，熱交換器和鼓風(fēng)機(jī)位于壓力容器內(nèi)部.
· 固化過程完成后，壓力固化爐會(huì)自動(dòng)將壓力降低到1atm并冷卻?.
工藝規(guī)格：
· 處理時(shí)間：通常為120分鐘或用戶指定的時(shí)間
· 工作溫度：60oC?200oC
· 最高溫度：220oC
· 工作壓力：1 bar – 10 bar
· 能力值：24個(gè)彈夾(標(biāo)準(zhǔn))
· 冷卻方式：PCW（17oC – 23oC）
· 冷卻水壓力：25 – 40 psi
壓力固化應(yīng)用：
· 印刷工藝且復(fù)合成型
· 晶圓貼裝
· 晶圓表層黏合
· 熱壓粘合
· 底部填充固化
· 通過填充
· 薄膜和膠帶粘接
